Publicação:
Influence of oxygen flow on crystallization and morphology of LiNbO 3 thin films

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Data

2002-01-01

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Trabalho apresentado em evento

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Resumo

Polymeric precursor solution (Pechini method) was used to deposit LiNbO 3 thin films by spin-coating on (100) silicon substrates. X-ray diffraction data of thin films showed that the increase of oxygen flow promotes a preferred orientation of (001) LiNbO 3 planes parallel to the substrate surface. Surface roughness and grain size, observed by atomic force microscopy, change also with oxygen flow. © 2002 Taylor & Francis.

Descrição

Palavras-chave

Crystallization, LiNbO 3, Rietveld analysis, LiNbO3, Oxygen flow, Substrate surface, Atomic force microscopy, Crystalline materials, Flow of fluids, Lithium niobate, Morphology, Oxygen, Silicon, Spin coating, Thin films

Idioma

Inglês

Como citar

Ferroelectrics, v. 271, p. 33-38.

URI

http://hdl.handle.net/11449/66761

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