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Publicação:
Efeitos de tratamentos térmicos em filmes nanocristalinos de TIO2 preparados por sputtering

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Orientador

Silva, José Humberto Dias da

Coorientador

Pós-graduação

Ciência e Tecnologia de Materiais - FC

Curso de graduação

Título da Revista

ISSN da Revista

Título de Volume

Editor

Universidade Estadual Paulista (Unesp)

Tipo

Dissertação de mestrado

Direito de acesso

Acesso abertoAcesso Aberto

Resumo

Resumo (português)

Os efeitos causados por tratamentos térmicos em filmes de TiO2 preparados pela técnica de sputtering reativo foram investigados. Foram realizadas duas deposições, variando somente a temperatura de substrato, com aquecimento de 450ºC e sem aquecimento e foram obtidos filmes com espessura entre 330 e 450 nm. Os tratamentos térmicos foram realizados em temperaturas de 300 a 900ºC, intervalos de 100Cº e durações de 20 minutos e 300 minutos. As atmosferas utilizadas foram ambiente e vácuo (10-4torr). Foram focos da pesquisa as mudanças da fase anatase para rutila, variações na energia do gap e modificações na morfologia e na superfície. Tais mudanças foram identificadas por meio de espectros de transmitância óptica e medidas estruturais de raios X e Raman. Como principais resultados, obteve-se que todos os filmes cresceram na fase anatase com uma morfologia colunar, a temperatura de transição de fase depende da atmosfera de tratamento térmico (900ºC para atmosfera ambiente e 800ºC para vácuo), a presença da fase rutila está relacionada com o espalhamento de luz e o tempo de tratamento não teve influência nos resultados

Resumo (inglês)

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Descrição

Palavras-chave

Crepitação (Fisica), Raios X, Dióxido de titânio, Fotocatalise, Sputtering (Physics)

Idioma

Português

Como citar

TONIATO, Rodrigo Garcia. Efeitos de tratamentos térmicos em filmes nanocristalinos de TIO2 preparados por sputtering. 2013. 106 f. Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual Paulista, Faculdade de Ciências, 2013.

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