Al Source-Drain Schottky contact enabling N-type (Back Enhanced) BESOI MOSFET

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Data

2022-01-01

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Resumo

This work presents for the first time the experimental and simulated characteristics of a BESOI MOSFET reconfigurable transistor with non-sintered aluminum contact. Without this sintering process, the transistor acquires a higher current for electrons, but doesn't have significant current for holes. This characteristic is opposite to those previously observed in sintered transistors. The thermal process of sintering caused interference in the formation of the Schottky junction, this result can be used to improve future implementations of the BESOI MOSFET.

Descrição

Idioma

Inglês

Como citar

36th Symposium on Microelectronics Technology, SBMICRO 2022 - Proceedings.

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