Processo de interrupção do fluxo do gás reativo durante deposições feitas por sputtering - Silva, Jose Humberto Dias da; Escaliante, Lucas Caniati; Pereira, André Luis de Jesus (My University, 2023)
O presente pedido de patente de invenção trata-se de um processo de interrupção do fluxo do gás reativo que alimenta a câmara de deposição do sputtering durante o período de deposição dos filmes finos, a fim de se modificar propriedades físicas, morfológicas e estruturais dos materiais depositados. O presente processo pode ser utilizado em escalas laboratoriais, comerciais ou industriais.
BR 10 2021 024344 9