Fabricação de plataformas baseadas em nanomembranas auto-enroladas para caracterização elétrica de metal-organic frameworks (MOFs) - Camargo, Davi Henrique Starnini de [UNESP] (Universidade Estadual Paulista (Unesp), 2019)
Após mais de duas décadas de intensa investigação em pontos quânticos, nanopartículas e nanofios, as nanomembranas têm representado uma terceira onda de pesquisa em nanomateriais. Além do ponto de vista de pesquisa básica, esse novo tipo de nanoestrutura tem possibilitado o desenvolvimento de uma geração de dispositivos com novas funcionalidades e aplicação em diversas áreas do conhecimento como: energia, biotecnologia, microeletrônica e eletrônica molecular. Em nanomembranas, tanto o esforço de compressão como o de tração podem ser precisamente controlados de modo a gerar padrões e formas distintas como micro-tubos por exemplo. Além disso, pelo fato de serem finas, elas podem ser integradas em outros sistemas, como é o caso dos circuitos eletrônicos, por meio de combinações de técnicas de micro- e nano-fabricação. As estruturas e os padrões gerados podem ser funcionalizados com camadas orgânicas trazendo para o sistema inorgânico seletividade química e bioquímica, bem como a possibilidade de integração em sistemas biológicos. Foi desenvolvido neste trabalho uma plataforma baseada nas nanomembranas auto-enroladas que possibilitou a incorporação de filmes ultrafinos (< 20 nm) de Metal-organic frameworks (MOF) para estudo de transporte e injeção de cargas, que até o momento não foi reportado pela literatura. Como resultado, foi possível observar efeitos de resistência diferencial negativa (NDR), de modo inédito, neste tipo de material (SURMOF HKUST-1). Para o desenvolvimento deste trabalho foram utilizadas técnicas de fotolitografia, deposição de filmes finos, corrosão seca durante as etapas de fabricação. Para caracterizar os dispositivos fabricados, as técnicas de microscopia eletrônica de varredura (MEV), microscopia confocal a laser (CLSM), microscopia de força atômica (AFM) e Difratometria de Raios-X foram empregadas. Uma estação de 4 pontas foi utilizada em conjunto com um analisador de parâmetros para extrair curvas corrente-tensão (IxV) em temperatura ambiente.

After many years of investigation in quantum dots, nanoparticles, and nanowires, nanomembranes has been considered a new research area in nanomaterials. Besides fundamental aspects, this nanostructure has allowed the development of a new generation of devices with new functionalities and applications in several areas such as energy, biotechnology, microelectronics and molecular electronics. In nanomembranes, the tensile and compressive forces can be precisely controlled to create different patterns and geometries as micro-tubes, for instance. Besides that, the low thickness allows them to be integrated onto another system (electronic circuits, for instance) through the combination of micro and nano-fabrication techniques. The structures and patterns can be functionalized with organic layers adding chemical and bio-chemical selectivity to the inorganic system, as well the possibility to integrate them in biological systems. Was developed at this work a system based on self-rolled up nanomembranes where was possible to study the electrical transport trough Metal-organic-frameworks thin films ( < 20 nm), that has not been reported by the literature yet. As a result, was observed the negative differential resistance effect (NDR), for the first time in the SURMOF HKUST-1. To develop this present work, were used several techniques as photolithography, thin film deposition and dry etching to fabricate the devices. To characterize the fabricated devices, scanning electron microscopy (SEM), confocal laser scanning microscopy (CLSM) and atomic force microscopy (AFM) were used. To characterize electronically, a four-probe station combined with a semiconductor parameter analyzer was used.
Fabrication of devices based on self-rolled up nanomembranes to electrical characterization of thin metal-organic frameworks films (MOFs)
Keywords: Nanomembranas; Microfabricação; Metal-organic framework; Nanomembranes; Microfabrication