Desenvolvimento de um monitor de vibrações utilizando sensores de tecnologia micro-eletromecânica - MEMS - Freitas Júnior, Joacy de Lima [UNESP] (Universidade Estadual Paulista (Unesp), 2005)
Sistemas micro-eletromecânicos (MEMS) é uma tecnologia revolucionária que envolve a miniaturização de componentes e estruturas para a transdução, atuação e controle de sinais, através de interfaces eletrônicas, afetando a forma que pessoas e máquinas interagem com o mundo físico. Este avanço tecnológico é conseqüência da integração de áreas multidisciplinares, que possibilitou o desenvolvimento de componentes de pequenas dimensões, de baixo consumo e operando em diferentes ambientes. O objetivo deste trabalho foi estudar a aplicabilidade de sensores de aceleração tipo capacitivo que utilizam desta tecnologia, visando desenvolver um sistema para monitoramento de sinais de vibração em máquinas rotativas, levando em consideração o custo, a portabilidade e a capacidade de monitoramento de sinais na faixa entre zero e 5kHz. Os resultados foram satisfatórios, alcançando os objetivos propostos.

Micro-electromechanical Systems (MEMS) is a revolutionary technology involving miniaturization of components and structures to transduction, performance and control of signals, through electronic interface, affecting the form that people and machines interact with the physical world. This technologic progress is consequence of the integration of several areas, which made possible the development of devices with small dimensions, requiring low power and able to operate in several environments. The objective of this work was to study the applicability of the capacitive sensor based in this technology, seeking to develop a monitor system for vibration in rotative machines, taking into account the cost, the portability and the capacity of work with frequency between zero and 5kHz. The results were satisfactory, reaching the proposed objectives.
Keywords: Eletromecânica - Sensores; Vibração; Acelerômetros micro-eletromecânicos; Microtecnologia; Micromachined accelerometer; Microtechnology