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"Deposição e etching de hexametildisiloxano e hexametildisilazano polimerizados a plasma"

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dc.contributor.advisorMota, Rogério Pinto [UNESP]
dc.contributor.authorSantana, Regiane Godoy de [UNESP]
dc.contributor.institutionUniversidade Estadual Paulista (UNESP)
dc.date.accessioned2026-05-15T17:30:28Z
dc.date.issued1996
dc.format.extent86 f.
dc.identifier.alma990000377290206341
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/11449/324157
dc.publisherUniversidade Estadual Paulista (UNESP)
dc.rights.accessRightsAcesso abertopt
dc.sourceAlma
dc.subjectPolimerização de plasmapt
dc.subjectPlasma de baixa temperaturapt
dc.title"Deposição e etching de hexametildisiloxano e hexametildisilazano polimerizados a plasma"pt
dc.typeDissertação de mestradopt
dspace.entity.typePublication
relation.isOrgUnitOfPublicationa4071986-4355-47c3-a5a3-bd4d1a966e4f
relation.isOrgUnitOfPublication.latestForDiscoverya4071986-4355-47c3-a5a3-bd4d1a966e4f
unesp.campusUniversidade Estadual Paulista (UNESP), Faculdade de Engenharia e Ciências, Guaratinguetápt

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