Publicação: Femtosecond laser induced periodic surface structures on hydrogenated amorphous silicon thin films
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Resumo
We report a study of fs-laser micromachining on the structure and surface morphology of hydrogenated amorphous silicon thin films using Raman spectroscopy and scanning electron and atomic force microscopy. © OSA 2013.
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Idioma
Inglês
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Optics InfoBase Conference Papers.
