Deposição de filmes finos metálicos e de tin por descarga elétrica em arco no vácuo
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Data
Autores
Orientador
Bosco, Edson Del 
Coorientador
Pós-graduação
Curso de graduação
Título da Revista
ISSN da Revista
Título de Volume
Editor
Universidade Estadual Paulista (UNESP)
Tipo
Dissertação de mestrado
Direito de acesso
Acesso aberto
Resumo
Descrição
Palavras-chave
Plasma (Gases ionizados), Plasma de baixa temperatura
